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IR FPA 傳感器（焦平面陣列傳感器）指的是對紅外光敏感的探測器陣列，這些探測器在位于紅外光學(xué)鏡頭焦平面時，能夠生成二維電子圖像。具體來說，市場上提供的 IR FPA 傳感器是通過將紅外探測器陣列（即原始 IR FPA 傳感器）與讀取電子系統(tǒng)結(jié)合而成的。

IR FPA 成像傳感器是熱成像儀中最關(guān)鍵的組件。此類系統(tǒng)的構(gòu)建有兩種主要方式：1) 購買集成有微型控制/圖像處理電子設(shè)備的 IR FPA 傳感器（熱成像核心），然后將其與光學(xué)鏡頭、可選冷卻器和機械外殼組合；2) 購買 IR FPA 傳感器，自行開發(fā)合適的微型控制/圖像處理電子設(shè)備，然后將生成的熱成像核心與光學(xué)鏡頭、可選冷卻器和機械外殼組合。

IR FPA 傳感器技術(shù)非常復(fù)雜，目前全球掌握該技術(shù)的制造商不超過十幾家。然而，全球還有幾十家科研機構(gòu)/公司在從事新型 IR FPA 傳感器的開發(fā)工作。無論是制造商還是科研機構(gòu)，都需要科學(xué)儀器來表征他們生產(chǎn)或開發(fā)的 IR FPA 傳感器。

IR FPA 傳感器的測試沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。然而，通常會使用一組用于表征熱成像儀的參數(shù)來表征 IR FPA 傳感器。這些參數(shù)主要分為三大類：1) 噪聲/靈敏度參數(shù)，2) 圖像質(zhì)量參數(shù)，3) 光譜參數(shù)。盡管表征參數(shù)相似，測試 IR FPA 傳感器的系統(tǒng)與測試熱成像儀的系統(tǒng)卻有很大不同，主要原因在于 IR FPA 傳感器需要一個特殊的電子控制器才能生成標(biāo)準(zhǔn)電子格式的視頻圖像，而每臺熱成像儀都能直接生成標(biāo)準(zhǔn)電子格式的視頻圖像，不需要額外的電子設(shè)備。此外，還存在一些其他次要差異。

Inframet 提供三種主要的 IR FPA 傳感器測試系統(tǒng)：

- FAPA 測試系統(tǒng)

- MIRAD 輻射器

- SPOT 測試系統(tǒng)

FAPA 是一種準(zhǔn)通用系統(tǒng)，專為科研機構(gòu)在開發(fā)此類成像傳感器時進行 IR FPA 傳感器的擴展測試而優(yōu)化。它主要用于測試完整的 IR FPA 傳感器（即集成了讀取電子設(shè)備的探測器陣列）和熱成像核心，但也可以測量一些原始 IR FPA 傳感器（未與讀取集成電路集成之前）的關(guān)鍵參數(shù)。具體而言，F(xiàn)APA 系統(tǒng)能夠測量 IR FPA 傳感器/熱成像核心的所有重要參數(shù)（噪聲/靈敏度、圖像質(zhì)量和光譜參數(shù)）。

MIRAD 是一種紅外輻射器，優(yōu)化后可作為測試用于制造 LWIR/MWIR FPA 成像傳感器的半導(dǎo)體晶圓的設(shè)備模塊。具體來說，MIRAD 設(shè)計用于替換 Teradyne 公司 IP750 圖像測試機中的 IA-OPT385WL 照明器（發(fā)射 VIS-SWIR 波段的光）。換句話說，MIRAD 是一種中遠(yuǎn)紅外輻射源，能夠以可調(diào)節(jié)的強度和高均勻度照射被測試的晶圓。MIRAD 也可以優(yōu)化為其他國際市場上提供的半導(dǎo)體晶圓測試機中的輻射器。

SPOT 測試站 可精確測試原始 IR FPA 傳感器（與讀取電子設(shè)備集成的傳感器）。通常測試?yán)鋮s的 MWIR 傳感器。該系統(tǒng)能夠直接測量空間響應(yīng)分布函數(shù)，并間接精確測量調(diào)制傳遞函數(shù)和串?dāng)_。SPOT 測試站可以作為獨立系統(tǒng)提供，也可以作為更大的 FAPA 系統(tǒng)的模塊提供。